蚀刻技术详解
利用对金属表面的侵蚀作用,从金属表面去除金属的处理技术。
(1) 电解蚀刻 (electrolytic etching)
用母模作导电性阴极,以电解液作媒介,对加工部分,集中实施蚀刻的侵蚀去除法。
(2) 化学蚀刻 (chemical etching)
利用耐药品被膜,把蚀刻侵蚀去除,作用集中于所要部位的方法。
照相蚀刻技术 (photo-etching process)
在金属表面全面均匀形成层状的感旋光性耐药品被膜 (photo resist) ,而透 过原图底片,用紫外线等曝光,后施以显像处理,来形成所要形状的耐药品被膜之被覆层,再以蚀刻浴的酸液或碱液,对露出部产生化学或电化学侵蚀作用,来溶解金属的加工技术。
(3) 化学蚀刻技术之特性
• 不需要电极、母型 (master) 等工具,故无需此等工具之维护费。
• 由规划到生产间所需时间短,可作短期加工。
• 材料之物理、机械性质不受加工影响。
• 加工不受形状、面积、重量之限制。
• 加工不受硬度、脆性之限制。
• 能对所有金属 ( 铁、不锈钢、铝合金、铜合金、镍合金、钛、史泰勒合金 ) 实施加工。
• 可高精度加工。
• 可施复杂、不规则、不连续之设计加工。
• 面积大,加工效率良好,但小面积时,其效率比机机械加工差。
• 水平向之切削易得高精度,但深度、垂直方向不易得到同机机械加工之精度。
• 被加工物之组成组织宜均匀,对不均质材,不易加工顺利。
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