不锈钢蚀刻工艺原理

　　不锈钢蚀刻是通过化学溶液选择性溶解金属表面的加工方法。该工艺利用三氯化铁或硝酸混合液与金属发生氧化还原反应。材料暴露区域被逐步腐蚀，形成预设图案。加工深度由溶液浓度和浸没时间决定。

　　工艺流程步骤

　　材料预处理：采用碱性溶液去除表面油污

　　感光膜涂布：辊涂法在钢板表面形成20-50μm光阻层

　　紫外曝光：通过菲林掩模转移设计图案

　　显影处理：碳酸钠溶液溶解未固化光阻

　　化学蚀刻：温度控制在40-50℃的蚀刻槽中进行

　　脱膜清洗：氢氧化钠溶液去除残余光阻

　　尺寸检测：三维测量仪验证加工精度

　　关键技术参数

　　蚀刻速率：0.01-0.05mm/min 最小线宽：可达0.05mm 厚度公差：±0.01mm 表面粗糙度：Ra0.8-3.2μm

　　设备组成要素

　　自动传送装置保持匀速进料 温度控制系统维持溶液稳定性 废气处理单元收集酸性挥发物 过滤循环系统延长蚀刻液寿命

　　典型工业应用

　　电子元器件屏蔽罩加工 医疗手术器械表面打标 电梯装饰面板图案成型 汽车燃油喷嘴微孔加工

　　质量影响因素

　　材料晶粒度影响蚀刻均匀性 光阻附着力决定边缘清晰度 溶液流动性关系侧壁垂直度 温度波动导致腐蚀速率变化

　　技术发展动向

　　脉冲蚀刻提高深宽比能力 电解蚀刻减少侧向腐蚀 激光辅助蚀刻提升定位精度 在线监测系统实现过程控制