不锈钢蚀刻加工技术规范

　　

　　不锈钢蚀刻加工材料选择标准

　　适用钢种：304/316/430

　　厚度范围：0.1-3.0mm

　　硬度要求：HRB70-90

　　表面状态：2B/BA/No.4

　　工艺流程

　　前处理

　　脱脂温度40-50℃

　　酸洗时间3-5min

　　水洗电阻率≥15MΩ·cm

　　抗蚀层制作

　　干膜厚度20-30μm

　　曝光能量80-120mJ/cm²

　　显影压力0.2-0.3MPa

　　蚀刻加工

　　蚀刻液温度45±2℃

　　传送速度0.8-1.2m/min

　　蚀刻因子1.2-1.5

　　精度控制指标

　　参数标准值检测方法线宽公差±0.02mm工具显微镜位置精度±0.03mm二次元测量垂直度≤0.5°角度规表面粗糙度Ra0.4-0.8μm轮廓仪

　　应用领域数据

　　电子行业

　　最小线宽0.05mm

　　蚀刻深度0.1-0.3mm

　　加工合格率≥98%

　　装饰行业

　　图案精度±0.05mm

　　批量一致性≤3μm

　　生产周期2-3天

　　工业零件

　　最大加工面积600×1500mm

　　厚度公差±0.01mm

　　年产能20万件

　　环保处理系统

　　废水处理

　　pH调节范围6-9

　　重金属含量≤0.5mg/L

　　排放标准GB8978-2025

　　废气处理

　　活性炭吸附效率≥95%

　　排放浓度≤20mg/m³

　　监测频率1次/8h

　　废渣处理

　　金属回收率≥90%

　　危废代码HW17

　　处置资质类别Y31

　　设备参数

　　蚀刻机

　　工作宽度650-1600mm

　　传动精度±0.01mm

　　温度控制±1℃

　　显影机

　　喷淋压力0.15-0.25MPa

　　溶液循环量5m³/h

　　干燥温度60±5℃