蚀刻加工工艺技术规范

　　

　　蚀刻加工基础材料参数

　　适用材料：不锈钢/铜合金/铝合金

　　厚度范围：0.05-5.0mm

　　表面粗糙度：Ra0.2-3.2μm

　　材料状态：冷轧/退火/硬态

　　工艺流程标准

　　前处理工序

　　脱脂液浓度3-5%

　　温度40-50℃

　　时间3-5min

　　抗蚀层制作

　　干膜厚度15-30μm

　　曝光能量80-150mJ/cm²

　　显影速度0.5-1.5m/min

       蚀刻加工

　　蚀刻液温度45±2℃

　　传送速度0.5-2.0m/min

　　蚀刻深度公差±0.01mm

　　精度控制指标

　　项目标准值检测方法线宽精度±0.02mm光学测量位置公差±0.03mm二次元仪垂直度≤0.5°角度规表面质量无毛刺20倍放大

　　典型应用参数

　　电子行业

　　最小线宽0.03mm

　　蚀刻深度0.05-0.5mm

　　加工精度±0.01mm

　　装饰行业

　　图案重复精度±0.05mm

　　批量一致性≤5μm

　　日均产能300-500件

　　工业零件

　　最大加工尺寸1200×3000mm

　　厚度公差±0.005mm

　　材料利用率≥85%

　　环保处理要求

　　废水处理

　　pH值6-9

　　重金属含量≤0.5mg/L

　　COD排放≤80mg/L

　　废气处理

　　活性炭吸附率≥95%

　　排放浓度≤20mg/m³

　　监测周期8h/次

　　废渣处理

　　金属回收率≥90%

　　危废分类HW17

　　处置资质Y31

　　设备技术参数

　　蚀刻生产线

　　工作宽度600-2000mm

　　温度控制±1℃

　　速度调节0.1-3.0m/min

　　显影设备

　　喷淋压力0.1-0.3MPa

　　溶液循环量3-8m³/h

　　干燥段长度2-4m