蚀刻加工基本原理

　　蚀刻加工是通过化学或物理方法选择性去除材料的技术。金属蚀刻深度精度控制在±0.005mm，最小线宽可达0.05mm。加工过程中使用pH值2.5-4.5的蚀刻液，温度维持在25-45℃范围。材料去除速率与浓度关系符合Arrhenius方程，典型值为0.02-0.15mm/min。

　　工艺流程标准

　　前处理阶段

　　基材经碱性脱脂(浓度5%-8%)和酸洗(10%盐酸)处理，表面粗糙度Ra≤0.4μm。水洗电导率需<50μS/cm。

　　图形转移

　　采用LDI曝光机(波长365nm)进行图形转移，曝光能量120-150mJ/cm²。干膜厚度15-25μm，显影时间45-90秒。

　　蚀刻控制

　　三氯化铁溶液比重1.32-1.38，喷射压力0.2-0.4MPa。侧蚀比控制在1:0.8-1.2，蚀刻因子≥3.0。

　　后处理

　　中和处理使用5%碳酸钠溶液，钝化膜厚度0.5-1.2μm。废水处理COD值<80mg/L。

　　设备技术参数

　　设备类型关键指标典型值喷淋蚀刻机喷嘴间距80-120mm传送速度0.5-3.0m/min真空贴膜机温度控制90±2℃真空度≤-0.08MPa显影机喷淋压力0.15-0.25MPa

　　材料适用性分析

　　不锈钢：304材质蚀刻速率0.08mm/min，316L材质需增加10%蚀刻时间

　　铜合金：黄铜侧蚀明显，需补偿设计线宽0.02-0.05mm

　　铝材：需添加5%硝酸钠抑制浮渣，温度不超过35℃

　　钛合金：采用HF-HNO3混合液，浓度比1:3

　　质量控制要点

　　尺寸检测使用二次元测量仪，重复精度±1μm

　　表面缺陷检验依据IPC-A-600标准，允许毛刺高度≤5%材料厚度

　　盐雾测试按GB/T 10125执行，96小时无基材腐蚀

　　附着力测试胶带剥离后残留面积≥95%

　　行业应用数据

　　2024年全球蚀刻加工市场规模达89亿美元，电子行业占比62%。中国精密蚀刻企业集中度CR5=38%，平均良品率92.5%。5G滤波器蚀刻需求年增长21%，新能源汽车电池模组蚀刻件渗透率达45%。