不锈钢蚀刻工艺原理

　　不锈钢蚀刻通过化学或物理方法去除材料表面特定区域。主要使用氯化铁溶液作为蚀刻剂，浓度控制在28%-42%之间。温度维持在40-50℃可保证蚀刻速率稳定在0.05-0.12mm/分钟。掩膜材料选用耐酸油墨或光致抗蚀剂，最小线宽精度可达0.1mm。

　　工艺流程

　　前处理

　　基材经脱脂清洗后喷砂处理，表面粗糙度控制在Ra0.8-1.6μm。采用碱性溶液去除氧化层，处理时间8-12分钟。

　　图形转移

　　网印或曝光显影方式施加掩膜，紫外固化能量需达到800-1200mJ/cm²。高精度图案采用激光直接成像技术。

　　蚀刻加工

　　三氯化铁溶液循环喷淋，压力0.2-0.4MPa。深度控制通过时间调节，每10μm厚度需3-5分钟。侧蚀率控制在15%-20%。

　　后处理

　　中和残留酸液后钝化处理，使用硝酸溶液浓度20%-30%。最后进行水洗烘干，水分残留量≤0.1mg/cm²。

　　应用领域

　　电子设备：射频屏蔽罩开孔率35%-60%

　　医疗器械：手术器械标识深度0.05-0.1mm

　　建筑装饰：镂空面板孔径公差±0.05mm

　　工业设备：滤网孔隙精度±0.02mm

　　质量控制

　　测量工具包括轮廓仪和三维显微镜。盐雾测试标准96小时无腐蚀。厚度检测采用涡流测厚仪，允许偏差±5%。图形完整性检查使用CCD自动检测系统。

　　技术参数对比

　　指标化学蚀刻激光蚀刻加工厚度0.1-3mm0.05-1mm加工速度中等快最小线宽0.1mm0.05mm设备成本低高适合批量大批量小批量