不锈钢蚀刻工艺流程

　　不锈钢蚀刻工艺流程主要分为以下几个阶段，依据材料类型和加工要求存在细节差异：

　　一、表面预处理

　　清除不锈钢板表面油污、氧化层及杂质。碱性脱脂剂浸泡(浓度8%-10%，温度50-60℃，时长15-20分钟)，高压水冲洗;顽固氧化层采用10%硝酸溶液浸泡5-8分钟，去离子水冲洗至中性。预处理后无尘烘干，表面粗糙度控制Ra≤0.8μm。

　　二、掩膜制作与图案转印

　　涂覆抗蚀层‌：

　　丝网印刷：适用于线宽≥0.3mm图案，300-400目丝网，胶膜厚20-30μm。

　　光刻工艺：精密图案采用旋涂法(转速1200-1500rpm)，胶层厚5-8μm。

　　曝光显影‌：紫外光固化(能量密度80-120mJ/cm²)，碳酸钠溶液显影(浓度1%-2%，温度30-35℃)。后烘增强耐蚀性(110-120℃/30分钟，硬度达4H铅笔标准)。

　　三、蚀刻处理

　　湿法蚀刻(主流工艺)‌：

　　蚀刻液：三氯化铁混合液(FeCl₃浓度30%-40%，HCl浓度5%-8%);或氯化铁铁系蚀刻液(含缓蚀剂、络合剂)。

　　参数：溶液温度40-50℃，喷淋压力0.15-0.25MPa，传送带速度0.8-1.2m/min。

　　深度控制：装饰件0.05-0.15mm，工业零件0.2-0.5mm。

　　干法蚀刻(高精度需求)‌：等离子体或离子束定向蚀刻，用于微米级加工。

　　四、后处理

　　去膜清洗‌：碱液退除抗蚀膜(氢氧化钠溶液40-60g/L，温度50-80℃)，去离子水冲洗。

　　钝化防锈‌：铬酸盐钝化处理增强抗氧化性。

　　表面修饰‌：选择性进行抛光、电镀或着色处理。

　　五、质量检测

　　光学显微镜或SEM检查图案精度(线宽偏差<5%)，确认蚀刻深度及表面无损伤。

　　工艺选择依据‌：

　　批量生产‌：湿法蚀刻成本低，适合304不锈钢。

　　精密零件‌：干法蚀刻或光刻工艺用于316不锈钢微米级加工。

　　环保要求‌：干法蚀刻避免化学废液，湿法需管控废水处理。