不锈钢蚀刻技术的具体工艺流程

　　不锈钢蚀刻技术的具体工艺流程如下：

　　一、不锈钢蚀刻前处理

　　除油清洗‌

　　使用碱性溶液(氢氧化钠100-150g/L+碳酸钠100g/L+磷酸钠50-100g/L)浸泡去除表面油脂与污染物。

　　电解除油增强清洁效果，水温控制在50-80℃。

　　不锈钢蚀刻表面活化‌

　　酸洗去除氧化层，常用盐酸或混合酸液(如HCl+HNO₃)处理。

　　退火处理改善金属晶格结构(铜材退火温度300-500℃)。

　　干燥‌

　　无尘环境烘烤或氮气吹扫，确保表面无水分残留。

　　二、掩膜制作

　　涂覆抗蚀剂‌

　　光敏抗蚀剂通过旋涂(转速控制厚度)或喷涂覆盖基材，厚度5-25μm。

　　干膜抗蚀剂厚度15-30μm，前烘温度80-100℃去除溶剂。

　　曝光显影‌

　　紫外光(波长365nm)通过胶片掩膜曝光，能量10-30mJ/cm²。

　　碳酸钠溶液溶解未曝光区域，形成镂空图案。

　　三、蚀刻成型

　　化学蚀刻‌

　　三氯化铁溶液(浓度28-42Be°)或HCl+HNO₃混合液，温度40-50℃。

　　蚀刻速率约12μm/min，喷淋压力控制均匀性。

　　物理蚀刻‌

　　等离子体蚀刻(CF₄/O₂气体)或激光蚀刻实现微米级精度。

　　四、后处理

　　去膜清洗‌

　　氢氧化钠溶液(40-60g/L，温度50-80℃)浸泡去除抗蚀剂。

　　丙酮或氧等离子体清除残留胶膜。

　　表面精整‌

　　电解抛光或机械抛光(砂纸600-2000目)改善粗糙度。

　　钝化处理(硝酸/柠檬酸溶液)提升防锈性。

　　功能性处理‌

　　电镀(镀金/锡)增强导电性，或染色实现装饰效果。

　　五、质量检测

　　二次元影像测量仪验证公差(常规±0.05mm，精密±0.01mm)。

　　SEM/AFM检查边缘粗糙度(目标Ra≤0.1μm)。

　　流程要点：

　　材料适用性‌：304/316L不锈钢需调整蚀刻液配方(如SUS312L用混酸)。

　　环保措施‌：闭环系统回收95%以上金属离子，生物降解型蚀刻剂pH=2.5-3.5。

　　缺陷控制‌：药液比重实时监测防止过蚀，退膜后酸洗消除氧化残留。