在环保法规趋严的背景下，蚀刻工艺的绿色化转型成为行业共识，技术革新正从原料替代、废料回收及工艺优化三个维度推进。

传统干法蚀刻中使用的全氟化合物（PFCs）因其强温室效应备受诟病。氯基气体与氮气的混合使用成为替代方案之一，在硅材料蚀刻过程中，氯离子与硅反应生成挥发性产物，而氮气的掺入可在侧壁形成氮化硅钝化层，抑制横向腐蚀。这一技术路径不仅减少温室气体排放，还能通过调整气体比例实现更精细的结构控制。

湿法蚀刻的废液处理系统通过多级工艺实现资源回收。离子交换树脂选择性吸附废液中的铜、镍等重金属离子，电渗析技术则利用电场驱动离子通过选择性渗透膜，实现酸液的再生回用。固态蚀刻技术的探索进一步减少了对液态化学品的依赖，超临界二氧化碳作为载体溶解反应活性物质，在高压条件下渗透材料表面完成选择性腐蚀。该方法尤其适用于有机聚合物或生物相容性材料的加工，避免废水产生。

工艺参数的智能化调控是另一降耗方向。传感器网络实时监测蚀刻槽的温度、浓度及流速，结合机器学习算法预测最佳工艺窗口，减少试错性生产带来的资源浪费。闭环控制系统可动态调整蚀刻液补充量，维持反应体系的稳定性，延长溶液使用寿命。