1.不锈钢蚀刻 基材预处理

　　脱脂清洗：采用碱性溶液(pH≥12)浸泡8-12分钟，去除表面油污

　　酸洗钝化：硝酸溶液(浓度20%)处理5-8分钟，清除氧化层

　　表面检测：白炽灯下检查无划痕、凹坑，粗糙度≤Ra0.8μm

　　2. 图形转移

　　涂布感光胶：喷涂厚度3-8μm，80℃烘烤15分钟

　　激光曝光：LDI设备精度±2μm，能量控制在300-500mJ/cm²

　　显影处理：碳酸钠溶液(5%)喷淋显影，压力0.2-0.3MPa

　　3. 化学蚀刻

　　不锈钢蚀刻液配方：

　　不锈钢：HCl基溶液(温度40±2℃)

　　铜材：FeCl₃溶液(浓度28%-32%)

　　工艺参数：

　　流速1.5-2m/s

　　蚀刻速率0.02-0.05mm/min

　　深度公差±5%

　　4. 后处理工序

　　去膜：氢氧化钠溶液(8%)60℃浸泡5分钟

　　中和：柠檬酸溶液(3%)循环冲洗

　　干燥：压缩空气吹扫+80℃热风烘干

　　5. 质量检测

　　项目检测方法标准要求尺寸精度二次元影像仪公差±0.015mm表面质量100倍显微镜无毛刺、残胶耐腐蚀性盐雾试验48小时无锈蚀现象附着力3M胶带剥离测试无涂层脱落

　　6. 设备配置清单

　　预处理线：超声波清洗机+酸洗槽

　　图形线：涂布机+LDI曝光机

　　蚀刻线：钛合金蚀刻槽+循环过滤系统

　　检测设备：轮廓仪+金相显微镜