不锈钢蚀刻工艺流程

　　1 材料准备

　　选用304或316不锈钢板 厚度范围0.05-3.0mm 表面粗糙度要求Ra≤0.8μm

　　2 前处理工序

　　碱洗脱脂：NaOH溶液浓度5% 温度50±5℃ 处理时间8-12分钟 酸洗钝化：HNO3溶液浓度15% 室温处理5分钟

　　3 图形转移

　　涂布感光胶：厚度8-15μm 预烘温度80℃ 时间15-20分钟 曝光能量：300-500mJ/cm² 显影液：Na2CO3溶液1% 压力0.2MPa 时间3-5分钟

　　4 化学蚀刻

　　蚀刻液成分：FeCl3 30% HCl 5% 温度控制：40±2℃ 蚀刻速率：0.02-0.05mm/min 溶液循环：流速1.5m/s

　　5 后处理

　　去膜：NaOH溶液5% 温度60℃ 时间5分钟 中和：柠檬酸溶液3% 纯水冲洗：电导率≤10μS/cm 干燥：热风80℃ 时间10分钟

　　技术参数

　　项目标准值公差范围线宽0.1mm±0.015mm深度0.2mm±5%位置度-±0.02mm粗糙度Ra0.4μm+0.2μm

　　设备配置

　　蚀刻槽：PP材质 容积1000L 加热功率15kW 过滤精度5μm 废气处理：二级喷淋塔