技术定义与原理

　　蚀刻加工是通过化学溶液选择性溶解金属的减材制造工艺。该技术可实现0.01mm的加工精度，适用于厚度0.05-3.0mm的金属板材。主要反应机理为氧化还原反应，以三氯化铁蚀刻不锈钢为例，其化学反应式为：Fe + 2FeCl₃ → 3FeCl₂。

　　核心工艺流程

　　前处理阶段

　　碱性脱脂：采用5%NaOH溶液，温度60℃，处理时间3-5分钟

　　酸洗活化：10%硫酸溶液浸泡，去除表面氧化层

　　水洗要求：电导率≤50μS/cm的纯水冲洗

　　图形转移

　　光刻胶涂布：干膜厚度20±2μm，液态胶厚度15-25μm

　　曝光参数：UV波长365nm，能量80-120mJ/cm²

　　显影条件：1%碳酸钠溶液，温度30±2℃
       蚀刻加工

　　不锈钢蚀刻：FeCl₃溶液浓度28°Bé，温度28±1℃

　　蚀刻速率：0.08-0.12mm/min(视材料而定)

　　深度控制：采用实时监测系统，精度±0.005mm

　　后处理工序

　　脱膜处理：5%NaOH溶液，温度50℃

　　表面处理：可选电镀、钝化或喷砂

　　最终检验：二次元测量仪精度0.001mm

　　关键技术指标

　　参数不锈钢加工铝合金加工铜材加工最小线宽0.1mm0.15mm0.05mm蚀刻锥度15-20°20-25°10-15°表面粗糙度Ra0.4μmRa0.8μmRa0.3μm日产能120㎡150㎡100㎡

　　工业应用案例

　　电子行业

　　柔性电路板：最小线宽0.03mm

　　手机金属网：开孔率42%，公差±0.01mm

　　半导体引线框：厚度0.1mm，精度±0.002mm

　　汽车制造

　　燃油喷嘴：孔径0.2mm，圆度≤0.005mm

　　电池极片：厚度0.05mm，毛刺≤0.01mm

　　装饰标牌：表面蚀刻深度0.15mm

　　医疗器械

　　手术器械：316L不锈钢，无菌处理

　　植入网格：孔径0.3mm，孔隙率60%

　　微流控芯片：通道宽度0.05mm

　　质量检测标准

　　尺寸检测：符合ISO 2768-mK级

　　盐雾测试：通过GB/T 10125 500小时

　　力学性能：满足ASTM E8/E8M标准

　　清洁度：颗粒物≤5mg/㎡(VDA19)

　　经济性分析

　　模具成本：传统冲压的5-10%

　　材料利用率：较冲压提高25-30%

　　交货周期：缩短60-70%

　　小批量成本：降低40-50%

　　环境管理

　　废液处理：金属回收率≥95%

　　能耗指数：0.8kWh/㎡

　　废水排放：符合GB 8978-1996标准

　　职业健康：作业区FeCl₃浓度≤1mg/m³