工艺原理

　　五金蚀刻通过化学溶液与金属反应实现材料去除。金属工件经预处理后覆盖耐腐蚀膜层，通过曝光显影形成图案窗口，暴露区域在蚀刻液中发生氧化还原反应，未保护区域被选择性溶解。

　　工艺流程

　　前处理 金属板材进行脱脂清洗，采用碱性溶液去除表面油污。喷淋或浸泡方式清除氧化物层，流水线作业保持表面清洁度。

　　涂覆 旋转涂布机均匀覆盖光致抗蚀剂，膜厚控制在5-25微米范围。烘箱分段升温固化，温度梯度维持在60-120℃区间。

　　曝光 紫外光源通过菲林模板照射，曝光能量维持在80-120mj/cm²。正性胶受光区域发生光分解反应，负性胶形成交联结构。

　　显影 碳酸钠溶液溶解未固化胶膜，喷淋压力保持在0.15-0.3MPa。水温控制在30±2℃，显影时间30-90秒。

　　蚀刻 三氯化铁溶液浓度维持在28-42Be°，温度保持40-50℃。传送带速度0.8-1.5m/min，蚀刻深度误差±0.01mm。

　　去膜 氢氧化钠溶液浓度3-5%，温度60-70℃。超声波辅助去除残余胶膜，时间控制在3-5分钟。

　　后处理 中和残留酸液后进行钝化处理，纯水电阻率需大于15MΩ·cm。热风干燥温度不超过80℃。

　　参数控制

　　蚀刻速率：0.01-0.05mm/min

　　侧蚀控制：1:0.8-1.2

　　最小线宽：0.05mm

　　厚度公差：±5%

　　应用领域

　　电子元件引线框架加工，金属标牌制作，精密滤网生产，医疗器械部件制造，汽车传感器元件加工。