不锈钢蚀刻工艺流程分解

　　基材预处理

　　脱脂：碱性溶液浸泡，温度50±2℃，时间3-5分钟

　　水洗：三级逆流漂洗，电导率≤50μS/cm

　　烘干：热风循环，风速2m/s，表面残留水分<0.1mg/cm²

　　图形转移

　　涂布：感光胶厚度10-15μm，均匀度偏差±1.5μm

　　曝光：365nm紫外线，能量300-500mJ/cm²

　　显影：碳酸钠溶液浓度1.0%，喷淋压力0.2MPa

　　化学蚀刻

　　蚀刻液：三氯化铁浓度28-32Be'

　　温度控制：40±1℃

　　传送速度：0.8-1.2m/min

　　蚀刻因子：1.5-2.0(深度/侧蚀量)

　　后处理

　　退膜：氢氧化钠溶液浓度5%，温度60℃

　　钝化：硝酸浓度20%，时间30秒

　　干燥：压缩空气吹扫，残留液滴直径≤2mm

　　关键参数控制标准

　　控制项304不锈钢316L不锈钢蚀刻速率0.03mm/min0.02mm/min侧蚀量≤0.05mm≤0.04mm表面粗糙度Ra1.6μmRa1.2μm尺寸公差±0.03mm±0.02mm

　　质量检测方法

　　尺寸测量：二次元影像仪，重复精度±1μm

　　深度检测：激光共聚焦显微镜，Z轴分辨率0.01μm

　　成分分析：EDX能谱仪，检测Cr/Ni含量变化

　　盐雾测试：ASTM B117标准，500小时观测

　　典型应用数据

　　电子屏蔽罩：厚度0.15mm，孔径0.25±0.01mm

　　医疗导板：蚀刻深度0.3mm，位置精度±0.02mm

　　建筑装饰板：通孔率40±2%，平整度≤0.1mm/m²