五金蚀刻工艺技术流程

　　金属预处理

　　金属板材经剪裁后进入清洗线。厚度0.1-2.0mm的304不锈钢板在碱性脱脂槽浸泡3分钟，溶液温度60℃，浓度5%。水洗后测量表面张力需达40mN/m以上。板材平整度使用激光检测仪校验，允许公差±0.3mm/m。

　　图形转移

　　涂布工序：

　　正性感光胶通过狭缝涂布机均匀覆盖，湿膜厚度25±5μm。传送带速度1.5m/min，80℃热风循环烘干15分钟。

　　曝光参数：

　　紫外线强度15mW/cm²，曝光时间45秒。真空吸附平台确保底片与板材间隙<0.1mm。

　　显影控制：

　　1%碳酸钠溶液喷淋显影，压力0.15MPa，温度25±1℃。显影后线宽偏差≤±0.02mm。

　　化学蚀刻

　　三氯化铁蚀刻系统包含以下单元：

　　溶液循环：浓度维持38±2波美度，流量8m³/h

　　温度控制：45±2℃恒温槽，钛合金加热管

　　喷淋压力：0.3MPa扇形喷嘴，覆盖均匀度>90% 蚀刻速率18μm/min，深度通过时间控制，每30秒取样检测。

　　后处理工序

　　脱膜：5%氢氧化钠溶液60℃浸泡，时间3±0.5分钟

　　中和：柠檬酸溶液pH值调节至6.5-7.5

　　钝化：铬酸盐钝化液浸泡120秒，形成0.5μm防护层

　　检测：白光干涉仪测量深度，CCD视觉系统检查图形完整性

　　工艺能力指标

　　项目参数范围最小线宽0.05mm深度公差±0.01mm板材厚度0.03-3.0mm蚀刻斜度1:0.8-1:1.2日产量120-150㎡

　　废液处理

　　蚀刻废液经三级处理：

　　酸碱中和：调节pH至6-9

　　重金属沉淀：添加硫化钠去除铜镍离子

　　絮凝过滤：聚丙烯酰胺加速沉淀 处理水达到GB8978-1996排放标准

　　金属预处理

　　金属板材经剪裁后进入清洗线。厚度0.1-2.0mm的304不锈钢板在碱性脱脂槽浸泡3分钟，溶液温度60℃，浓度5%。水洗后测量表面张力需达40mN/m以上。板材平整度使用激光检测仪校验，允许公差±0.3mm/m。

　　图形转移

　　涂布工序：

　　正性感光胶通过狭缝涂布机均匀覆盖，湿膜厚度25±5μm。传送带速度1.5m/min，80℃热风循环烘干15分钟。

　　曝光参数：

　　紫外线强度15mW/cm²，曝光时间45秒。真空吸附平台确保底片与板材间隙<0.1mm。

　　显影控制：

　　1%碳酸钠溶液喷淋显影，压力0.15MPa，温度25±1℃。显影后线宽偏差≤±0.02mm。

　　化学蚀刻

　　三氯化铁蚀刻系统包含以下单元：

　　溶液循环：浓度维持38±2波美度，流量8m³/h

　　温度控制：45±2℃恒温槽，钛合金加热管

　　喷淋压力：0.3MPa扇形喷嘴，覆盖均匀度>90% 蚀刻速率18μm/min，深度通过时间控制，每30秒取样检测。

　　后处理工序

　　脱膜：5%氢氧化钠溶液60℃浸泡，时间3±0.5分钟

　　中和：柠檬酸溶液pH值调节至6.5-7.5

　　钝化：铬酸盐钝化液浸泡120秒，形成0.5μm防护层

　　检测：白光干涉仪测量深度，CCD视觉系统检查图形完整性

　　工艺能力指标

　　项目参数范围最小线宽0.05mm深度公差±0.01mm板材厚度0.03-3.0mm蚀刻斜度1:0.8-1:1.2日产量120-150㎡

　　废液处理

　　五金蚀刻废液经三级处理：

　　酸碱中和：调节pH至6-9

　　重金属沉淀：添加硫化钠去除铜镍离子

　　絮凝过滤：聚丙烯酰胺加速沉淀 处理水达到GB8978-1996排放标准